Технология вполне правильная. Только если Вы планируете укладывать паркетную доску плавающим способом, то шлифовать фанеру не нужно. Лаги 50х50 мм. Анкера при таких лагах должны быть 100мм, т.е в стяжку они будут заходить на 50мм. Фанера шлифуется зерном 40 (только Вам ее шлифовать не нужно). При укладке на лаги фанера не режется. Крепить ее надо к лагам с расстоянием не более 30 см между анкерами. Подкладывать ничего не надо. Использовать нужно силиконовый герметик (например Tytan) При использовании лаг приклеивать пароизоляцию не нужно. Грунтовать соответственно тоже. Если полы не заливаются то можно не использовать пароизоляцию.